仪器仪表学报

作者：崔云先，杨琮，薛生俊，殷俊伟，杜鹏

单位：崔云先,大连交通大学机械工程学院大连116028,,杨琮,大连交通大学机械工程学院大连116028,,薛生俊,大连交通大学机械工程学院大连116028,,殷俊伟,大连交通大学机械工程学院大连116028,,杜鹏,大连交通大学机械工程学院大连116028,

关键词：瞬态温度;金属过渡层;薄膜热电偶;动态性能

基金：国家自然科学基金(51575074)项目资助

针对C/SiC复合材料制造的航空发动机热端部件瞬时表面温度监测困难的问题，研究了一种C/SiC复合材料瞬时表面温度测量方法。采用磁控溅射法结合电镀工艺在C/SiC复合材料表面沉积了Ni?Cr?ZrO2复合过渡层，采用磁控溅射法在Ni?Cr?ZrO2复合过渡层上依次制备了SiO2绝缘膜、NiCr/NiSi薄膜热电偶和SiO2保护膜。对不同厚度SiO2绝缘膜的绝缘性能进行研究，结果表明3μm厚的SiO2薄膜绝缘电阻值可达1?64×109Ω。对传感器静态性能的实验研究结果表明，在50～600℃，塞贝克系数为42?1μV/℃，非线性误差1?52%。用理论计算与实验结合的方式对传感器的动态性能进行了研究，结果表明，传感器的动态响应时间在微秒级，可实现瞬态温度测试。对传感器进行测温实验，结果表明传感器能满足室温～600℃范围内瞬态温度检测的需求。

来源：2019年第3期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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