仪器仪表学报

作者：习振华，李得天，成永军，孙雯君，李亚丽

单位：习振华,兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000,,李得天,兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000,,成永军,兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000,,孙雯君,兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000,,李亚丽,兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000,

关键词：真空计量;动态真空;时间常数;响应时间

基金：国家自然科学基金（61501212）、甘肃省科技重大专项计划（17ZD2WA001）项目资助

快速动态真空校准装置由校准系统、高速数据采集与控制系统、抽气系统、烘烤系统、供气系统5个部分组成。采用快开超高真空插板阀与不同几何尺寸限流元件的组合实现标准压力建立时间在18?12～658?13ms范围的调整，采用容积比为1573?9的下游室与上游室实现动态真空1000倍以上的阶跃。通过ms量级稀薄气体快速膨胀过程数值仿真获得了快开阀与限流元件不同流态下随时间的流导函数，并采用动态响应特性经过优化的电容薄膜真空计（响应时间1?07ms）实验验证，快速动态真空校准装置校准范围10-1～105Pa，合成标准不确定度为14%。

来源：2019年第4期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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