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国内刊号：11-2179/TH
国际刊号：0254-3087
发布日期:
作者：张培洁，赵维谦，杨帅，邱丽荣
单位：张培洁,北京理工大学光电学院 精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京100081,,赵维谦,北京理工大学光电学院 精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京100081,,杨帅,北京理工大学光电学院 精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京100081,,邱丽荣,北京理工大学光电学院 精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京100081,
关键词：面形检测;旋转平移;特征匹配;迭代;Zernike多项式
基金：国家重点研发计划（2017YFA0701203）、北京理工大学创新人才科技资助专项（2019CX01020）项目资助
现有的面形绝对检测法为了保证检测精度，在测量过程中需要耗费大量时间对被测镜进行精密的姿态调整。针对上述问题，提出了一种无需精密调整被测镜姿态的两平面面形检测方法。该方法需被测镜在3个位置进行测量：初始位置、旋转未知角度后的位置、横向平移未知距离后的位置。通过特征匹配求解被测镜实际旋转角度和平移量，通过迭代算法和拟合Zernike多项式恢复被测镜面形，并对被测镜面形中损失的角频率项进行补偿。该方法在保证精度的同时，避免了被测镜的精密调整，缩短了测量时间。实验表明，该方法与Vannoni的方法相比，二者检测结果的残差均方根（RMS）值为0?004λ，测量中被测镜调整过程快速简单连贯，为光学元件的面形检测提供了一种新的技术途径。
来源：2019年第5期
《仪器仪表学报》期刊编辑部
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