仪器仪表学报

作者：史皓天

单位：史皓天,大连海事大学轮机工程学院大连116026,,张洪朋,大连海事大学轮机工程学院大连116026,,王文琪,大连海事大学轮机工程学院大连116026,,王满,大连海事大学轮机工程学院大连116026,,曾霖,大连海事大学轮机工程学院大连116026,

关键词：液压油磨粒;电容式传感器;电感式传感器;微流体芯片

基金：国家自然科学基金（51679022）、中央高校基本科研业务费专项资金(3132019034)、大连市科技创新基金项目（2019J12GX023）资助

液压油中的磨粒含有大量有关液压零部件磨损的重要信息，对磨粒的检测可有效预防液压系统的故障。针对电感式磨粒传感器对非铁磁性金属磨粒的检测能力较弱的缺点，本文提出了一种集成式磨粒检测装置，包括一个电容式传感器和一个电感式传感器。电容式传感器可对液压油中的气泡和金属颗粒实现区分检测，电感传感器可对液压油中的铁磁性和非铁磁性磨粒进行区分检测。通过结合比较电感和电容两个传感单元的检测结果，可实现对液压油中的气泡，铁磁性和非铁磁性金属颗粒的高精度检测。所设计的传感装置能够检测并区分80μm气泡，30μm铁颗粒和45μm铜颗粒。电容式传感器和电感式传感器的集成有效地弥补了两种检测方法各自的不足，这种多种传感器融合的方式对提高磨粒检测装置的检测精度具有重要的意义。

来源：2019年第9期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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