仪器仪表学报

作者：王筱庐，陈玉春，蒋宇翔，张凯

单位：王筱庐,西北工业大学动力与能源学院西安710072,,陈玉春,西北工业大学动力与能源学院西安710072,,蒋宇翔,西北工业大学动力与能源学院西安710072,,张凯,陕西易度智能科技有限公司西安710018,

关键词：层流流量计;微小气体流量;缝隙式;不确定度;线性度

基金：国家自然科学基金（51105257,51310105025）、辽宁省高等学校创新人才支持计划（LR2017036）、辽宁省博士启动资金（20170520177）、辽宁省百千万人才工程（2015.47）项目资助

为解决层流流量计（LFM）线性度不佳的问题，提出了一种微小缝隙式LFM，并介绍了层流流量计的测量原理、结构设计及参数计算。对一台设计流量范围约为0～280mL/min的试验件进行了试验，试验中使用的标准装置为活塞标准装置，合成不确定度为0?12%，扩展不确定度为0?24%（k=2）。试验结果显示，在未使用任何修正系数的前提下，试验件最大引用误差为-0?90%。试验件基本达到准确度1?0级的设计指标，量程比10∶1。此外试验件线性度优良，其Remaxde/l值为3?42，大于传统要求的2～2?5，说明此结构设计可有效克服突扩突缩带来的非线性影响。

来源：2019年第11期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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