仪器仪表学报

作者：刘小康，李昌伟，彭凯，于治成，冯济琴

单位：刘小康,重庆理工大学 机械检测技术与教育部工程研究中心重庆400054,,李昌伟,重庆理工大学 机械检测技术与教育部工程研究中心重庆400054,,彭凯,重庆理工大学 机械检测技术与教育部工程研究中心重庆400054,,于治成,重庆理工大学 机械检测技术与教育部工程研究中心重庆400054,,冯济琴,重庆理工大学 机械检测技术与教育部工程研究中心重庆400054,

关键词：分时复用结构;反射式;绝对式;时栅;角位移传感器

基金：国家自然科学基金(51935004，51435002)、重庆市教委高校创新团队项目(CXTDX201601029)资助

提出了一种基于分时复用反射电极结构的高精度绝对式时栅角位移传感器。以增量式时栅传感器为基础，将单对极与多对极相结合，整周多对极作为精确测量部分实现高精度，整周单对极作为粗略测量部分实现绝对定位。提出了一种分时复用反射电极结构，粗测部分和精测部分共用一组反射电极和接收电极，因此结构更加紧凑，便于小型化，同时动子无需引线，应用环境更广。通过分时间段对粗测部分和精测部分施加激励信号，并把不工作的电极接地，可以有效消除粗测部分和精测部分之间的串扰，保证测量精度。采用PCB技术制造了外径Φ=60mm，内径Φ=26mm的传感器样机。通过理论分析和结构优化，最终实验结果表明传感器的测量精度达到了±12″。

来源：2019年第11期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

查看仪器仪表学报杂志2019年第11期