仪器仪表学报

作者：谭文1，方淼1，段峰2，周博文1，吴亮红1

单位：谭文1，方淼1，段峰2，周博文1，吴亮红1,（1?湖南科技大学信息与电气工程学院湘潭411201； 2?广东嘉铭智能科技有限公司广州510600）,

关键词：关键词：3D激光;高精密测量;图像预处理;机器视觉;特征定位

基金：*基金项目：国家自然科学基金（61603132,61203309）项目资助

摘要：为了满足现代工业非接触、高精度以及快速对微型物体进行平面度测量的需求，本文采用3D激光测量方法研制了基于机器视觉的3D激光平面度测量系统。首先研究3D激光轮廓仪的扫描测量原理及平面度测量原理，然后对激光线图像进行预处理，确保后期测量的准确性，其次对几何特征进行定位和坐标转换，再进行数据处理，获取物体测量部位的三维测量值。本系统为微型物体几何尺寸的三维非接触、高精度、多尺寸测量提供了测量装置系统和相应的测量手段。最后实物测量实验验证文中测量方法的准确性、快速性和有效性，测量精度可达0?1μm。

来源：2020年第1期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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