仪器仪表学报

作者：王朝1，王道档1，朱其幸1

单位：王朝1，王道档1，朱其幸1,2，许新科1，孔明1,（1．中国计量大学计量测试工程学院杭州310018；2?桂林电子科技大学 广西光电信息处理重点实验室桂林541004）,

关键词：关键词：三维测量;点衍射干涉;瞬态检测;偏振相移;误差校正

基金：*基金项目：国家自然科学基金(51775528)、广西光电信息处理重点实验室（培育基地）基金（GD18205）、中国博士后科学基金(2017M621928)项目资助

摘要：针对基于PZT移相的点衍射干涉三维测量系统中存在采样时间间隔过长和易受外界扰动影响等问题,提出了用于瞬态三维测量的点衍射干涉系统。通过对点衍射干涉三维测量系统光束偏振态调制并引入偏振相机,实现了三维空间坐标的瞬态移相干涉测量。针对偏振相机存在的视场误差及其对三维测量精度的影响,研究了基于相位插值的视场误差校正方法。为了验证系统方案的可行性,分别进行了数值仿真与三维在线测量比对实验。实验结果表明,利用本系统可实现亚微米量级的三维空间瞬态测量，且测量重复性小于5%。所提出的瞬态点衍射干涉系统具有对外界扰动不敏感、重复性测量精度高和快速测量等特点,为无导轨三维位移和尺寸等瞬态测量提供了一种可行的方法。

来源：2020年第2期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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