仪器仪表学报

作者：付翔宇1，王道档1，吴振东1

单位：付翔宇1，王道档1，吴振东1,2，孔明1，许新科1,（1．中国计量大学计量测试工程学院杭州310018； 2．桂林电子科技大学广西光电信息处理重点实验室桂林541004）,

关键词：关键词：紧凑型干涉仪;在线检测;偏振相机;子孔径拼接

基金：*基金项目：国家自然科学基金(51775528)、广西光电信息处理重点实验室（培育基地）基金（GD18205）、中国博士后科学基金(2017M621928)项目资助

摘要：针对不同口径光学元件加工阶段的在线测量需求,提出了用于在线检测的紧凑型瞬态干涉测量系统。系统引入偏振相机来实现波前瞬态移相干涉测量以降低外界扰动影响。同时结合基于位形优化算法的子孔径拼接技术,可降低对运动扫描平台精度要求,并实现大口径光学元件全口径检测。为验证所提出测量系统的可行性,分别对金刚石车削机床对中工具和大口径球面镜进行在线检测和子孔径拼接测量,结果表明,与ZYGO干涉仪检测结果相比，两者对应的均方根值偏差的绝对值分别为0?003与0?007μm。同时该系统具有布局结构紧凑和对外界环境扰动不敏感的特点,可很好地满足复杂环境在线安装检测应用要求,在金刚石车削机床对中工具的在线调整和不同口径光学元件在线检测中具有较广泛的应用。

来源：2020年第2期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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