仪器仪表学报

作者：李书成，邱丽荣，王允，赵维谦

单位：李书成，邱丽荣，王允，赵维谦,（北京理工大学光电学院 精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京100081）,

关键词：关键词：径向偏振;光瞳滤波;共焦拉曼;空间分辨力

基金：*基金项目：国家重点研发计划课题(2018YFF01012001)、国家自然科学基金(51535002，61635003)项目资助

摘要：针对共焦拉曼系统空间分辨力提升的迫切需求，研制了一套径向偏振光瞳滤波共焦拉曼光谱显微系统（RPCRS）。该系统利用径向偏振光发生器（S波片）将激光器发出的线偏振光转换为径向偏振光；然后，利用光瞳滤波器对径向偏振光进行调制，从而压缩拉曼激发光斑；最后，利用共焦针孔消除焦点外位置的拉曼散射光，进一步提升共焦拉曼显微系统的空间分辨力。该系统具有较高的空间分辨力和横向灵敏度。以周期性刻线和标准台阶作为测试样品进行实验，实验结果表明，RPCRS的空间分辨力可以达到240nm，横向灵敏度相比普通拉曼共焦系统提升了46?5%，测量标准不确定度为18?87nm。该系统可用于高空间分辨共焦拉曼成像。

来源：2020年第2期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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