仪器仪表学报

作者：崔云先，薛生俊，杜鹏，殷俊伟，丁万昱

单位：崔云先，薛生俊，杜鹏，殷俊伟，丁万昱,（大连交通大学机械工程学院大连116028）,

关键词：关键词：薄膜热电偶;高性能;瞬态温度;铣削;退火

基金：*基金项目：国家自然科学基金 (51575074，51772038，51905071)、辽宁省博士科研启动基金计划（2019?BS?043）项目资助

摘要：随着纳米薄膜沉积技术的发展，基于薄膜热电偶的瞬态温度测量技术在多种场合得到广泛应用。为实现薄膜热电偶在铣削加工中的应用，提出了一种高性能薄膜热电偶的制备方法。通过直流脉冲磁控溅射技术在石英基底上制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶，并于氩气气氛进行不同温度的退火，研究了退火对薄膜热电偶综合性能的影响。结果表明，500℃退火的功能薄膜均匀性、导电性均有显著的提高，薄膜热电偶的塞贝克系数由退火前的36?3μV/℃增大到最大值40?5μV/℃，在连续热冲击和高温保持6h后测温性能仍保持良好。将高性能薄膜热电偶研究成果用于测温铣刀的研制，并用于TC4正交铣削，得到了TC4铣削温度预测公式，为旋转类刀具加工温度的测量提供了一种可行性方案。

来源：2020年第4期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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