仪器仪表学报

作者：陈爽，鲁伟俊，张强，秦敏

单位：陈爽，鲁伟俊，张强，秦敏,（中国工程物理研究院计量测试中心绵阳621900）,

关键词：精密离心机;回转轴线;滤波;参数估计;偏心;倾斜

基金：*基金项目：基金项目国防科工局技术基础项目（JSJL2017212B001）资助

摘要：摘要回转轴线的确定作为10-6量级精密离心机静态工作半径校准的重要步骤，其准确性将直接影响输出加速度的测量不确定度。根据定义，回转轴线作为虚拟基准，无法通过测量直接得到。针对上述问题，通过高斯滤波、偏心量及倾斜量参数估计、自动化调整，提出了一种基于参数估计的精密离心机回转轴线测量方法，可实现标准圆柱棒几何中心线与回转轴线重合，达到基准转换的目的。利用圆度仪及模拟仿真、验证了滤波算法与参数估计的正确性及有效性；利用精密转台、标准圆柱棒、光谱共焦传感器、六轴并联定位运动平台搭建了回转轴线测量单元。试验结果表明，标准圆柱棒与回转轴线的偏心量可调整至0?2μm，倾斜量可调整至0?0002°。

来源：2020年第6期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

查看仪器仪表学报杂志2020年第6期