仪器仪表学报

作者：卢孟爽，马仙仙，黄婧雯，刘子豪，邱丽荣

单位：卢孟爽,1.北京理工大学光电学院 光学测量中心,,马仙仙,1.北京理工大学光电学院 光学测量中心,,黄婧雯,1.北京理工大学光电学院 光学测量中心,,刘子豪,1.北京理工大学光电学院 光学测量中心,,邱丽荣,1.北京理工大学光电学院 光学测量中心,

关键词：系统标定;圆度测量;最小二乘法;差动共焦

基金：国家重点研发计划重大科学仪器设备开发专项(2018YFF01012001)、国家自然科学基金(61827826)、北京理工大学创新人才科技资助专项计划(2019CX01020)项目资助

针对激光惯性约束聚变靶丸轮廓高精度测量系统的溯源标定问题,提出一种基于激光差动共焦测量原理的标定溯源方法。该方法基于激光差动共焦靶丸测量系统轴向响应曲线过零点精确对应测量系统焦点的性质,首先利用激光差动共焦靶丸测量系统测量经中国计量科学研究院计量检定的标准椭圆块的圆度,其次通过比对测量值和标准椭圆块圆度计量值,得出该系统测量传递系数为1.03,最后通过多次检定验证测量的方法,完成系统的高精度标定。实验结果显示,利用标定完成的系统进行激光聚变靶金属球比对测量,其标准差为37nm,该标定方法的测量重复性为17nm,其为靶丸表面轮廓的高精度测量奠定了坚实基础。

来源：2021年第5期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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