仪器仪表学报

作者：王成武，陆惠宗，吴俊杰，孙爱西，屠明亮

单位：王成武,1. 浙江师范大学,,陆惠宗,2. 浙江工业大学超精密加工研究中心,,吴俊杰,2. 浙江工业大学超精密加工研究中心,,孙爱西,1. 浙江师范大学,,屠明亮,3. 绍兴职业技术学院,

关键词：激光三角法测距;测量精度;多项式拟合;误差分析

基金：国家重点研发计划(2018YFB2000403)、浙江省自然科学基金(LY18E050021)项目资助

基于非接触高测量精度、便于使用等特点,激光三角法测距在科研和工业生产实践中已获得了广泛的应用。位移测量是通过激光斑在成像光敏面上的位移来决定的,在不同的应用中两者之间多项式拟合的参数选择也往往不同,选择合适的多项式,实现快速、高精度测量对不同的应用有很重要的意义。本文针对激光三角法位移测量被测面位移量y与成像光斑在光敏面上位移量x之间的非线性关系,系统分析了y作为x的函数用多项式拟合过程中的误差来源,实验搭建了一台小型激光三角位移传感器,根据实验测量数据,验证了搭建的激光三角位移测量装置满足Scheimflug条件,根据实验测量值和多项式拟合计算的位移值,定义了一个评判拟合质量的质量因子Q,通过计算Q,确定了最佳多项式拟合。

来源：2021年第5期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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