仪器仪表学报

作者：杨 晔，严利平，陈本永，楼盈天

单位：杨 晔,1.浙江理工大学纳米测量实验室,,严利平,1.浙江理工大学纳米测量实验室,,陈本永,1.浙江理工大学纳米测量实验室,,楼盈天,1.浙江理工大学纳米测量实验室,

关键词：激光干涉;空气折射率测量;长度可变真空腔;Edlén公式;误差补偿

基金：国家自然科学基金(51875530,51475435)、浙江省自然科学基金(1Z18E050003)项目资助

为了解决基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量中透光窗片倾斜和真空腔内残余气压对测量精度的影响，本文分析了真空腔拉伸过程中透光窗片倾斜引入的误差，并提出了透光窗片倾斜误差检测和补偿方法，同时研究了真空腔内残余气压的测量和补偿方法。为了验证所提出方法的可行性，搭建了基于长度可变真空腔的激光干涉空气折射率测量系统，测量结果与Edlen公式结果进行对比。实验结果显示，本系统测量结果与Edlen公式结果具有较好的一致性，在2.2h和20min内，两者之间偏差的标准偏差分别为2.34×10?和2.89×10°,这表明本文所提出的空气折射率测量误差补偿方法是可行和有效的，可应用于激光干涉精密位移测量中空气折射率的实时补偿。

来源：2021年第6期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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