仪器仪表学报

作者：吴 慰，关镐强，李金贝奇，王瑞金，朱泽飞

单位：吴 慰,1.杭州电子科技大学机械工程学院,,关镐强,1.杭州电子科技大学机械工程学院,,李金贝奇,1.杭州电子科技大学机械工程学院,,王瑞金,1.杭州电子科技大学机械工程学院,,朱泽飞,1.杭州电子科技大学机械工程学院,

关键词：热感式;微流量传感器;双模;量热模式;热线模式

基金：国家自然科学基金(11572107)项目资助

微流量传感器是有着功耗低、响应快、精度高等优点,在汽车工业、航空航天、生物研究、临床诊断等多个领域有广泛的应用。量热微流量传感器是通过测量加热器上下游温差来确定流速的,然而当流速超过一定范围后温差响应将不会随流速的增大,限制了流量传感器的量程。本文首先数值模拟了在大流率跨度下(0~160SCCM)下温差对流速的响应,发现当扩散作用占主导时温差对流速的响应几乎是线性的;随着流速的增大,温差的响应逐渐降低,呈非线性;当流速进一步增加时温差的响应趋于饱和,量热工作模式失灵。然后,在数值模拟基础上提出了在大流速下采用热线工作模式,而中小流速下依然采用量热模式的双模式微热流量传感器。最后,采用0.18μmCMOS-MEMS的工艺制作了微传感器,并以灵敏度为准则划定了工作模式的切换阈值,与标准流量计比较后发现误差在2%之内,符合实际应用要求,但量程扩大了一倍。

来源：2021年第7期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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