仪器仪表学报

作者：路遥环，裘祖荣，尤 悦，薛 洁

单位：路遥环,1.天津大学精密仪器与光电子工程学院,,裘祖荣,1.天津大学精密仪器与光电子工程学院,,尤 悦,1.天津大学精密仪器与光电子工程学院,,薛 洁,1.天津大学精密仪器与光电子工程学院,

关键词：角位移测量;结构设计;圆光栅;测量误差;补偿模型

基金：国家重点研发计划重大科学仪器专项 (2017YFF0108102)资助

为了实现对精密减速器输入端和输出端角位移的精密测量,建立精密减速器角位移测量系统。对该系统的机械结构、角度测量及标定方法、基于非线性最小二乘法的误差补偿模型进行研究。通过“立式筒状”结构和圆光栅角度传感器“前置”避免了传统检测仪的弱刚度结构和轴系形变对角度测量造成的影响。使用光电自准直仪与24面棱体结合的方式离散标定圆光栅角度传感器的角位移测量误差,研究基于谐波分析的误差补偿方法,对角坐标进行补偿,进一步消除误差。实验结果显示,通过优化检测仪的结构设计,角位移测量精度达到±7″;误差补偿后,角位移最终测量精度达到±2″,满足减速器角位移测量的高精度要求,对类似测角系统也有参考价值。

来源：2021年第7期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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