仪器仪表学报

北大核心,CA,JST,EI,CSCD

国内刊号:11-2179/TH

国际刊号:0254-3087

仪器仪表学报杂志2021年第8期:快速并行激光显微切割方法

发布日期:

作者:黄彩虹,谢佳豪,易定容,康玉思,庄凤江

单位:黄彩虹,1. 华侨大学信息科学与工程学院,2. 华侨大学机电及自动化学院,,谢佳豪,2. 华侨大学机电及自动化学院,,易定容,2. 华侨大学机电及自动化学院,,康玉思,3. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,,庄凤江,1. 华侨大学信息科学与工程学院,

关键词:激光显微切割;数字微镜器件;激光加工

基金:福建省自然科学基金(2020J02005)、福建省教育厅科研课题(JAT170033)项目资助

针对传统激光显微切割采用单激光焦点与工件相对运动形成加工轨迹,存在切割效率低、切割轨迹首尾不易闭合等局限性,提出基于数字微镜器件的无机械运动激光显微切割方法。通过调控数字微镜阵列,对激光光束的振幅进行调控,配合光路设计在样品区域得到任意的光场强度分布,实现强度近乎相同的面投影并行切割。阐述了关键参数设计、模拟仿真、系统搭建过程。先对聚酯薄膜进行直线、空心圆环、空心矩形等多种图案的切割,再对冷冻切片的细胞组织进行切割。实验表明,通过一次投影并行切割可设计的图案化结构,目标图形准确,切割效率高。在20×物镜下,最小切割线宽达到亚微米,最小圆环直径小于单细胞直径。该方法可为提高激光显微切割系统的效率和精度提供新思路和新方向。

来源:2021年第8期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

查看仪器仪表学报杂志2021年第8期

声明

严正声明:本站非期刊官网,非中介代理。

本站仅提供学术规范服务:快速预审、润色编辑服务、中英文查重、降重、去重服务、推荐合适的期刊投稿等学术规范服务。 如需提供学术规范服务请联系在线编辑。

联系我们

  • 地址:北京市东城区北河沿大街79号
  • 电话:010-64044400
  • E-mail:cjsiedit@cis.org.cn

咨询工作人员