仪器仪表学报

作者：刘小康，梅现富，蒲红吉，彭 凯，于治成

单位：刘小康,1.重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心,,梅现富,1.重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心,,蒲红吉,1.重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心,,彭 凯,1.重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心,,于治成,1.重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心,

关键词：绝对位移测量;纳米时栅;分时方法;位移传感器

基金：国家自然科学基金( 51935004)、重庆理工大学科研启动基金 ( 2020ZDZ031)、 “ 成渝地区双城经济圈建设” 科技创新项目(KJCX2020043)资助

本文提出了一种反射绝对式纳米时栅位移传感器的传感方法。采用反射单列式传感器作为反射绝对式传感器的精密测量部分,记为传感器A。为了实现绝对位移测量,设计了一个与传感器A相差一个周期的反射单列式传感器,记为传感器B,利用传感器A与传感器B相位作差实现绝对位移测量。采用标准印刷电路板技术制作了传感器样机,搭建了实验平台,进行了实验测试。测试结果表明,激励电极引线方式对接收电极带来干扰,从而造成一次谐波误差。为了抑制误差,提出了交叉反射结构和分时方法,交叉反射结构将感应电极与另一端的反射电极引线相连,增大激励电极和接收电极的距离,分时方法通过不同时间段对传感器A和传感器B施加激励信号,并把不工作的电极接地。实验表明该结构和方法相互配合有效的抑制了干扰,最终在400mm范围内,补偿后实现了±300nm的测量精度。

来源：2021年第9期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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