仪器仪表学报

作者：鲁沛昕，杨开明，鲁 森，朱 煜

单位：鲁沛昕,1. 清华大学机械工程系，2. 清华大学摩擦学国家重点实验室,,杨开明,1. 清华大学机械工程系，2. 清华大学摩擦学国家重点实验室,,鲁 森,1. 清华大学机械工程系，2. 清华大学摩擦学国家重点实验室,,朱 煜,1. 清华大学机械工程系，2. 清华大学摩擦学国家重点实验室,

关键词：晶圆键合对准;对准标记定位;高精度;亚像素

基金：摩檫学国家重点实验室基金(SKLT2020D23)项目资助

对准标记精确定位是晶圆键合精度实现的关键,为了提高对准标记定位算法的精度、实时性及适应性,提出了一种基于边缘检测拟合定位的高精度对准标记定位算法。该方法结合分级金字塔模型对对准标记进行逐级定位,获得像素级的目标区域粗定位结果,根据目标区域粗定位结果,结合Canny检测器与改进的高斯拟合法,对对准标记的亚像素轮廓进行拟合,在此基础上结合中心对称的对准标记特征,利用改进后的最小二乘法快速拟合对准标记的中心位置,实现对准标记的精确定位。通过实验验证了该方法的有效性,实验结果表明,提出的对准标记定位算法在快速定位目标区域的同时,可实现约0.06μm的重复定位误差,满足了晶圆键合对准的精度、实时性和适应性的需求。

来源：2021年第11期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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