仪器仪表学报

作者：朱 进，黄 垚，朱维斌，薛 梓，邹 伟

单位：朱 进,1. 中国计量大学计量测试工程学院，2. 中国计量科学研究院,,黄 垚,2. 中国计量科学研究院，3. 浙江大学光学科学与工程学院现代光学仪器国家重点实验室,,朱维斌,1. 中国计量大学计量测试工程学院,,薛 梓,2. 中国计量科学研究院,,邹 伟,2. 中国计量科学研究院,

关键词：空间角度;计量学;测量不确定度;蒙特卡洛法

基金：国家自然科学基金（51935004）项目资助

随着空间几何量精密测量技术在装备制造工业的制造与装配过程中应用越来越广泛,角度计量正在从平面角度向空间角度发展。针对磁光阱的异面空间角度进行测量,使用平行平晶作为标准平面引出待测面法向量,并将其空间角度有效的划分成水平投影角和竖直投影角两个平面角度进行测量,保证了空间角度的可溯源性,得到磁光阱各待测面法向量间的空间角度偏差最大值为0.2860mrad;然后通过蒙特卡洛法评定该方法的测量不确定度为0.0959mrad;最后与三坐标测量机法比对结果中偏差最大值为0.1842mrad,在考虑待测面平面度指标为±0.1454mrad时,二者的一致性良好。目前该方法已在NIM5铯原子喷泉钟物理真空子系统的研制中进行了应用,证明了该方法能够满足测量的准确度要求。

来源：2022年第1期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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