仪器仪表学报

作者：杨明鹏，刘 佳，李言杰，葛 静

单位：杨明鹏,1. 南京信息工程大学自动化学院， 2. 南京信息工程大学江苏省大数据分析技术重点实验室， 3. 南京信息工程大学江苏省大气环境与装备技术协同创新中心,,刘 佳,1. 南京信息工程大学自动化学院， 2. 南京信息工程大学江苏省大数据分析技术重点实验室， 3. 南京信息工程大学江苏省大气环境与装备技术协同创新中心,,李言杰,1. 南京信息工程大学自动化学院,,葛 静,1. 南京信息工程大学自动化学院,

关键词：微流体;爆破阀;引流控制;等离子处理;微压力测量

基金：江苏省高等学校自然科学研究面上项目（19KJB530013）、南京信息工程大学人才启动经费（2019R16）、江苏省“双创博士”项目（R2020SCB50）资助

微量流体的收集与控制是微流控领域的关键技术,微流体引流控制不仅需要对流速、时间等参数进行精确控制,而且要避免流体在多个检测区的交叉混染。本文设计一种基于爆破阀的微流体引流控制芯片。首先,对爆破阀机理进行分析,并采用MEMS工艺制备微流控芯片;然后,对影响爆发阀特性的材料亲水性进行跟踪测量,对微流控芯片的引流特性进行宏观和微观观测;更进一步地,对爆破阀的爆破压力进行理论计算和实验实测,3种爆破阀的实测爆破压力分别为90、690、2440Pa;最后,对不同进样速率下爆破阀的爆破特性进行测试。实验结果表明,通过爆破阀的合理设计,可实现微流体的引流控制,使其按预定次序、预定时间流入检测区,进而有效避免流体的交叉混染。

来源：2022年第1期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

查看仪器仪表学报杂志2022年第1期