仪器仪表学报

作者：靳雷生，辛泽辉，王德波

单位：靳雷生,1.南京邮电大学集成电路科学与工程学院,,辛泽辉,1.南京邮电大学集成电路科学与工程学院,,王德波,1.南京邮电大学集成电路科学与工程学院,

关键词：MEMS功率传感器;悬臂梁;灵敏度;动态范围;耦合度

基金：国家青年自然科学基金（61704086）项目资助

为了从根本上解决在线式微波功率传感器灵敏度、动态范围和微波性能之间的矛盾,本文创新性地设计出一种耦合在线式MEMS微波功率传感器,将微波功率的提取和检测两个过程相互独立。根据理论解析模型,得到了灵敏度特性与耦合度的关系,分析对比了耦合度分别为10%和20%时的微波特性及灵敏度特性差异。实验结果表明:两种耦合式MEMS微波功率传感器的反射损耗均小于-20dB,说明具有良好的反射性能;两种耦合式MEMS微波功率传感器的插入损耗均大于-1.5dB,说明具有良好的传输性能。耦合度10%的系统灵敏度为1.2mV/W@9GHz、1.4mV/W@10GHz和0.8mV/W@11GHz,耦合度20%的系统灵敏度为2.4mV/W@9GHz、2.4mV/W@10GHz和1.3mV/W@11GHz,并具有良好的线性度。本文对于MEMS微波功率传感器研究具有一定的参考价值。

来源：2022年第7期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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