仪器仪表学报

作者：肖 林，雷小华，郭光辉，陈昱如，章 鹏

单位：肖 林,1. 光电技术及系统教育部重点实验室,,雷小华,1. 光电技术及系统教育部重点实验室,,郭光辉,2. 中国航发四川燃气涡轮研究院,,陈昱如,1. 光电技术及系统教育部重点实验室,,章 鹏,1. 光电技术及系统教育部重点实验室,

关键词：扫频干涉;稀疏采样;间隙;傅里叶变换

基金：国家自然科学基金（52175530，51975077，51675068，61875023）项目资助

本文建立了基于扫频干涉的动态间隙测量模型,推导出间隙与多普勒误差、光源扫频速率之间的关系式;定义多普勒误差修正系数,对多普勒误差进行补偿。分析了扫频速度变化时的间隙瞬时频率变化特征,获得傅里叶变换频率解调法的适用条件。仿真分析了间隙以三角波形式变化情况下,稀疏扫频点数、噪声等对傅里叶变换解调的影响;进而分析了该方法在篦齿间隙测量中的适用性。最后,搭建快速稀疏扫频干涉间隙测量系统并开展动态测量实验,结果表明:扫频分别速率为20、40及60kHz,间隙变化频率分别为100、500及1000Hz的情况下,测量均方误差不超过0.2μm,重复性误差小于0.3μm。

来源：2022年第9期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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