仪器仪表学报

作者：马 娜，金伟其，董 岚，王 铜，何振强

单位：马 娜,1. 北京理工大学光电成像技术与系统教育部重点实验室,,金伟其,1. 北京理工大学光电成像技术与系统教育部重点实验室，2. 散裂中子源科学中心,,董 岚,2. 散裂中子源科学中心,,王 铜,2. 散裂中子源科学中心,,何振强,2. 散裂中子源科学中心,

关键词：微米级;电容式水准器;单水准器标定;精度验证

基金：国家自然科学基金面上项目 (12075246)资助

基于当前高能同步辐射光源(HEPS)装置的沉降监测需求,课题组设计关键参数和结构,研制了国内首个微米级单极板电容式静力水准器样机。本文重点研究该水准器的标定和精度验证,针对传统的标准量块和位移台标定法存在标定精度低、机械加工要求高等问题,创新性采用单水准器直接标定法和多段拟合参数获取方案,实现10mm量程的微米级标定;同时提出采用激光反馈干涉仪联合纳米级位移台直接监测液位变化,实现单水准器的全量程精度验证,精度3μm;通过重载位移台进行了7m距离的两点监测系统的精度验证,在10mm量程内相对高程监测精度可达到5μm。结果表明样机精度符合设计要求,可为我国大型装置的高精度高程向监测提供可靠手段。

来源：2022年第9期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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