仪器仪表学报

作者：张雅馨，王琛英，景蔚萱，施玉书，蒋庄德

单位：张雅馨,1. 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,,王琛英,1. 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室，2. 西安交通大学高端制造装备协同创新中心,,景蔚萱,1. 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,,施玉书,3. 中国计量科学研究院,,蒋庄德,1. 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,

关键词：台阶高度标准物质;亚50nm;原子层沉积技术(ALD);计量学

基金：国家自然科学基金(52175434)项目资助

纳米台阶高度标准物质可以传递准确、可溯源的纳米高度量值。针对我国缺乏可控的高质量亚50nm台阶高度标准物质制备技术的问题,提出了基于原子层沉积结合湿法刻蚀的纳米台阶高度标准物质研制方法,通过工艺过程优化实现了台阶高度亚纳米量级精确可控,制备出了最小公称高度仅为5nm的亚50nm台阶高度标准物质系列。其定值结果可溯源到米定义波长基准,扩展不确定度不超过2.0nm,均匀性和稳定性较好,不同测试仪器一致性水平较高。研究结果表明,所研制的纳米台阶高度标准物质可以用于亚50nm高度量值传递以及多种测量仪器之间量值的比对测量,其产业化批量生产的前景也将为半导体产业提供完善的计量保障。

来源：2022年第11期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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