仪器仪表学报

作者：蒋金玲，张 晶，朱欣华，苏 岩，周 同

单位：蒋金玲,1.南京理工大学机械工程学院,,张 晶,1.南京理工大学机械工程学院,,朱欣华,1.南京理工大学机械工程学院,,苏 岩,1.南京理工大学机械工程学院,,周 同,1.南京理工大学机械工程学院,

关键词：硅微谐振式加速度计;有源温度补偿技术;无源温度补偿技术;微电子机械系统

基金：国家重点研发计划(2021YFB3201604)、国家自然科学基金(62101263)、江苏省自然科学基金(BK20190417)、中央高校基本科研业务费专项资金(30920021110)项目资助

硅微谐振式加速度计具有体积小、成本低、动态范围宽、高精度准数字频率信号输出等优势,但零偏、标度因数等关键性能指标受到了温度等因素的制约,尚不能满足高精度导航制导的高性能要求。因此,本文在简要介绍硅微谐振式加速度计温度特性及温度误差来源的基础上,综述了近年来国内外学者针对硅微谐振式加速度计进行的温度补偿方面的研究,包括无源温度补偿技术、有源温度补偿技术;介绍了无源温度补偿技术与有源温度补偿技术常用的方法和最新的研究成果;分析总结了各种方法的优缺点,提出探索更加精确的测温手段、热隔离效果更好的隔离装置以设计一种低功耗、预热时间短、控制稳定性强的微烘箱系统进行器件层的加热控温,以及寻求无源补偿技术与有源补偿技术相结合的更多可能性以获得温度补偿最优组合是后续温度补偿工作的重点研究方向。

来源：2023年第1期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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