仪器仪表学报

作者：章广威，崔 健，邱丽荣，王 允，赵维谦

单位：章广威,1.北京理工大学光电学院复杂环境智能感测技术工信部重点实验室,,崔 健,1.北京理工大学光电学院复杂环境智能感测技术工信部重点实验室,,邱丽荣,1.北京理工大学光电学院复杂环境智能感测技术工信部重点实验室,,王 允,1.北京理工大学光电学院复杂环境智能感测技术工信部重点实验室,,赵维谦,1.北京理工大学光电学院复杂环境智能感测技术工信部重点实验室,

关键词：差动共焦;透镜中心偏;定焦技术;高精度

基金：国家重点研发计划(2017YFA0701203)、基础加强计划技术领域基金项目(2019-JCJQ-JJ-280)资助

针对国内外透镜中心偏高精度测量的迫切需求,研制了一套激光差动共焦透镜中心偏测量系统。该系统从中心偏非接触测量的核心定焦原理入手,结合激光差动共焦定焦技术,解决了清晰度法定焦精度差的难题。在光学测量系统误差分析的基础上,对系统再次优化设计,并利用差动共焦轴向光强响应曲线过零点的位置与被测镜猫眼和共焦点精确对应这一特性,实现了透镜中心偏的高精度测量。通过实验表明,该系统测量精度为0.49%,与传统的清晰度法定焦测量相比,透镜中心偏的测量精度有效提高了6倍。该系统将差动共焦定焦技术有效的应用于透镜中心偏测量中,提高了被测镜猫眼和共焦位置的定焦能力,实现了高精度测量系统的设计,在光学测试和透镜加工及装配领域具有广阔的应用前景。

来源：2023年第2期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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