仪器仪表学报

作者：王 鹏，曲天良，刘天怡，张 熙，张红波

单位：王 鹏,1.华中光电技术研究所武汉光电国家研究中心,,曲天良,1.华中光电技术研究所武汉光电国家研究中心,,刘天怡,1.华中光电技术研究所武汉光电国家研究中心,,张 熙,1.华中光电技术研究所武汉光电国家研究中心,,张红波,1.华中光电技术研究所武汉光电国家研究中心,

关键词：半球谐振子;质量不平衡;振动特性;频率裂解;耦合振动

基金：国家自然科学基金(62073055)项目资助

质量不平衡是半球谐振子制造过程产生的主要缺陷之一,其对谐振子的振动特性产生重要的影响。为制定半球谐振质量不平衡评价方法及为修调提供依据,对谐振子的结构特征及质量不平衡进行了表征,通过耦合振动物理模型及仿真分析,明确了谐振子耦合振动产生机理、质量不平衡对频率裂解及支撑损耗的影响。并通过实验,测得了谐振子的不同去除质量下频率裂解特性及耦合振动特性,得到了谐振子质量不平衡与振动特性之间的关系,通过实验数据得出未经过平衡的谐振子1、3次谐波及2次谐波的分布特征,以及它们引入的支撑损耗分别为1.6×10-8、3.7×10-9;频率裂解与4次谐波不平衡质量对应关系为0.01Hz/μg,由此可以对谐振子质量不平衡进行评价及制定调平工艺。

来源：2023年第3期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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