仪器仪表学报

作者：陈旭辉，李兴强，崔 昊，杜劲松

单位：陈旭辉,1. 中国科学院沈阳自动化研究所，2. 中国科学院机器人与智能制造创新研究，3. 中国科学院大学，4. 辽宁省智能检测与装备技术重点实验室,,李兴强,1. 中国科学院沈阳自动化研究所，2. 中国科学院机器人与智能制造创新研究，4. 辽宁省智能检测与装备技术重点实验室,,崔 昊,1. 中国科学院沈阳自动化研究所，2. 中国科学院机器人与智能制造创新研究，3. 中国科学院大学，4. 辽宁省智能检测与装备技术重点实验室,,杜劲松,1. 中国科学院沈阳自动化研究所，2. 中国科学院机器人与智能制造创新研究，4. 辽宁省智能检测与装备技术重点实验室,

关键词：多波长协作;激光三角法;切削液残留;在机测量

基金：国家自然科学基金(62101547)项目资助

在加工测量一体化过程中,工件表面切削液残留形成的油膜会严重影响光学在机测量的精度。现有的误差补偿方法通常需要获取油膜介质的先验信息,如成分、厚度等。而这些信息受加工形质、切削液随机分布等因素的影响难以实时获取。为此,本文提出一种基于多波长协作的切削液残留表面激光位移测量误差补偿方法。首先设计并搭建了基于激光三角位移测量的多波长激光测量系统,可利用多波长激光测量同一被测点位移。通过引入柯西色散规律,建立光学系统与激光波长的解析关系,并基于此推导出多波长激光测量内在的差分特性,最终实现误差补偿。本文依此方法进行了实验。结果表明补偿后测量误差绝对值小于0.01mm,与未补偿的测量数据对比,误差降低了至少92%。

来源：2023年第4期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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