仪器仪表学报

作者：乔诗翔，李豪杰，于 航，陈志鹏

单位：乔诗翔,1.南京理工大学智能弹药技术国防重点学科实验室,,李豪杰,1.南京理工大学智能弹药技术国防重点学科实验室,,于 航,1.南京理工大学智能弹药技术国防重点学科实验室,,陈志鹏,1.南京理工大学智能弹药技术国防重点学科实验室,

关键词：高g值加速度传感器;压阻式;高低温;灵敏度

针对高低温环境对高g值加速度传感器灵敏度影响机理不清的问题,通过建立两端固支的敏感单元数学模型,得到了传感器灵敏度与敏感单元纵向应力、横向应力的关系。通过热-力耦合仿真分析得到了传感器灵敏度与温度间的关系,在-40℃~50℃范围内,传感器灵敏度随温度的增加而减小,且在-40℃~20℃范围内灵敏度变化较快,在20℃~50℃范围内灵敏度变化较慢。通过传感器高低温试验得到高低温环境下传感器灵敏度数据,-40℃条件下灵敏度大小为0.523μV/g;50℃条件下灵敏度大小为0.516μV/g。与仿真结果进行对比,验证了温度变化对传感器灵敏度的影响规律,为提升高g值加速度传感器在高低温环境下测量精度具有理论参考意义。

来源：2023年第5期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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