仪器仪表学报

作者：刘 熠，王军华，霍 鹏，常爱民，姚金城

单位：刘 熠,1. 中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室，2. 新疆电子信息材料与器件重点实验室，3. 中国科学院新疆理化技术研究所，4. 中国科学院大学材料科学与光电技术学院,,王军华,1. 中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室，2. 新疆电子信息材料与器件重点实验室，3. 中国科学院新疆理化技术研究所,,霍 鹏,1. 中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室，2. 新疆电子信息材料与器件重点实验室，3. 中国科学院新疆理化技术研究所，4. 中国科学院大学材料科学与光电技术学院,,常爱民,1. 中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室，2. 新疆电子信息材料与器件重点实验室，3. 中国科学院新疆理化技术研究所,,姚金城,1. 中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室，2. 新疆电子信息材料与器件重点实验室，3. 中国科学院新疆理化技术研究所,

关键词：探空仪;热敏电阻器;微型化;快响应;太阳辐射

基金：中国科学院“西部之光”基金(2021-XBQNXZ-003)项目资助

针对高空气象探测用温度传感器存在响应时间长、测温精度差以及辐射误差大等现状,研制了一种封装体积小、响应速度快、抗辐照能力强的温度传感器。采用固相法制备了Mn-Ni-Cu-Fe-O基片状热敏电阻,尺寸分别为0.4mm×0.4mm×0.25mm与0.6mm×0.6mm×0.25mm。在片状热敏电阻敏感元表面依次沉积绝缘膜和铝金属反射薄膜。结果表明,研制的热敏电阻在-80℃~60℃范围内,其阻值范围分别为1000kΩ~4.2kΩ与375kΩ~1.6kΩ;热耗散系数为1.034mW/℃,响应时间为0.63s。利用太阳光模拟器对热敏电阻进行太阳辐射测温误差研究,在100W/m2的辐照强度下测温误差最小为0.22℃。该热敏电阻有望应用在高空气象探测的探空仪中。

来源：2023年第8期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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