仪器仪表学报

作者：杜 卓，王 伟，王 允，崔 健，赵维谦

单位：杜 卓,1.北京理工大学“复杂环境智能感测技术”工信部重点实验室,,王 伟,1.北京理工大学“复杂环境智能感测技术”工信部重点实验室,,王 允,1.北京理工大学“复杂环境智能感测技术”工信部重点实验室,,崔 健,1.北京理工大学“复杂环境智能感测技术”工信部重点实验室,,赵维谦,1.北京理工大学“复杂环境智能感测技术”工信部重点实验室,

关键词：焦距;激光差动共焦;中心偏;姿态调整;高精度

基金：民用航天技术预先研究项目(D020402)、中央高校基本科研业务费专项资金(2023CX01006)项目资助

针对测量球面透镜焦距过程中存在偏心误差导致测量光轴与透镜实际轴线不重合的问题,提出了一种基于偏心抑制的激光差动共焦焦距高精度测量方法,通过驱动工作台旋转测得透镜偏心误差的大小及方向,实现了对被测透镜的误差采集;通过分析误差大小及方向驱动姿态调整电机,消除了测量过程中由于存在偏心误差对焦距测量精度产生的影响;通过构建系统,优化系统参数,实现了激光差动共焦焦距高精度测量;最终实现基于偏心抑制的焦距高精度测量,解决了焦距测量时测量光轴与透镜实际轴线不重合从而对测量结果产生影响的问题。基于该系统进行了焦距测量实验,实验表明:测量焦距为100mm透镜时,该方法相对重复测量精度(RMS)可达到0.000503%。该方法显著提高了焦距测量的精度及重复测量精度,为焦距的精密测量提供了一种有效的途径。同时,该方法可应用到镜组加工与装配中,提高镜组的成像质量与测量精度。

来源：2023年第11期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

查看仪器仪表学报杂志2023年第11期