仪器仪表学报

作者：杨晓朋，文玉梅，陈冬雨，李 平

单位：杨晓朋,1.上海交通大学电子信息与电气工程学院,,文玉梅,1.上海交通大学电子信息与电气工程学院,,陈冬雨,1.上海交通大学电子信息与电气工程学院,,李 平,1.上海交通大学电子信息与电气工程学院,

关键词：谐振磁场传感器;AT切石英;FeGa膜;蝶形结构

基金：国家自然科学基金(62220106010)项目资助

蝶形磁致伸缩膜由于磁汇聚,其中心区域的磁致伸缩应变增强,但是和矩形AT切石英晶片复合时,磁膜耦合至矩形晶片电极区的应变会向周围无磁膜区域扩散,降低应变对晶片厚度剪切振动的作用,降低磁场传感器灵敏度。提出AT切石英晶片和FeGa膜形状一样的蝶形谐振磁场传感器,蝶形晶片可以将蝶形磁膜增强的晶片应变汇聚至晶片电极区,以提高传感器灵敏度。仿真结果预测,在23.8~118.9Oe的磁场范围内,蝶形结构的灵敏度为蝶形磁膜/矩形晶片结构的3.73倍。通过微机械加工,制作了蝶形器件,对实际器件测试的结果表明,在76.4~117Oe的线性区间内,蝶形传感器的灵敏度可达-29.08Hz/Oe。

来源：2024年第3期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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