仪器仪表学报

作者：黎琪慧，陈亚新，辛璟焘，董明利，李 昆

单位：黎琪慧,1. 北京信息科技大学光电测试技术及仪器教育部重点实验室，2. 北京信息科技大学光纤传感与系统 北京实验室,,陈亚新,3. 北京空间机电研究所,,辛璟焘,1. 北京信息科技大学光电测试技术及仪器教育部重点实验室，2. 北京信息科技大学光纤传感与系统 北京实验室，4. 广州南沙光子感知技术研究院,,董明利,1. 北京信息科技大学光电测试技术及仪器教育部重点实验室，2. 北京信息科技大学光纤传感与系统 北京实验室，4. 广州南沙光子感知技术研究院,,李 昆,1. 北京信息科技大学光电测试技术及仪器教育部重点实验室，2. 北京信息科技大学光纤传感与系统 北京实验室,

关键词：光纤布拉格光栅;振动传感器;三轴;微型化;振动测量

基金：国家重点研发计划(2021YFA1003504)项目资助

针对微型三轴振动传感器研制,可用空间小且结构复杂和结构零件组合装配困难等问题,提出采用3个一体化模块交错组合的传感器设计方法,提高了空间利用率和装配精度。通过理论分析和有限元仿真,完成15mm×15mm×15mm微型化传感器的优化设计,搭建显微镜成像封装系统和振动测试系统完成传感器的封装和性能测试。实验表明,该传感器X、Y、Z轴的谐振频率分别为990、975和960Hz,且在0~700Hz频率范围内平坦度好,灵敏度分别为19.10、19.28和20.01pm/g,具有轻量化和三轴测试性能一致性高的优点。搭建微角振动测试系统,验证传感器的性能,其角位移测量分辨率优于0.21μrad,线性度为0.998。

来源：2024年第5期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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