仪器仪表学报

作者：蒲红吉，余志立，于治成，骆 艺，郑方燕

单位：蒲红吉,1.重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心,,余志立,1.重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心,,于治成,1.重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心,,骆 艺,1.重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心,,郑方燕,1.重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心,

关键词：时栅位移传感器;油污污染;误差分析;电场仿真;谐波抑制

基金：国家自然科学基金青年项目(62103069)、重庆市教育委员会科学技术研究项目(KJQN202101121)、重庆市教育委员会科学技术研究项目(KJZD-K202101104)资助

针对服役状态下油污降低位移传感器精度和可靠性的问题,本文基于绝对式纳米时栅传感器,开展了栅尺油污污染误差分析与抑制方法研究。首先阐述了绝对式纳米时栅传感器测量原理;其次建立了栅尺油污污染的数学理论模型和电场仿真模型。通过理论和仿真分析表明:均匀油污污染对传感器没有影响,非均匀油污污染主要引入一次谐波误差,并且误差随着污染油污的厚度和宽度的增加而增加;最后搭建实验平台验证了以上理论分析的正确性。同时提出差动结构,有效抑制了一次谐波误差,提高了传感器抗污能力。研究油污造成的误差影响对提高传感器环境适应性有重要意义,同时也为提高传感器长期可靠性和增强环境适应性提供了理论基础。

来源：2024年第8期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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