仪器仪表学报

作者：高忠华，胡 帅，汪 强，付 敏，冯济琴

单位：高忠华,1. 重庆理工大学机械工程学院，2. 重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心，3. 重庆理工大学时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室,,胡 帅,1. 重庆理工大学机械工程学院,,汪 强,1. 重庆理工大学机械工程学院,,付 敏,2. 重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心,,冯济琴,2. 重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心,

关键词：电容式时栅;单相激励;多相激励;角位移传感器;行波构造

基金：国家自然科学基金项目(52375526)、重庆市教委重大项目(KJZD-M202201103)、重庆市自然科学基项目( cstc2021jcyj-msxmX0512) 资助

针对现有多相激励时栅角位移传感器在小体积时无法设置更多极对数进一步提升稳定性,导致精度和动态性能指标无法得到提升等问题,提出一种单相激励电容式时栅角位移测量方法。该方法采用单相激励耦合成四路空间正交的驻波信号,通过电路实现行波构造,从而实现角位移测量。文中介绍了多相激励时栅传感器存在的问题、单相激励时栅的测量原理,完成了传感器样机的研制,并通过实验验证该原理的有效性。实验结果表明,相同尺寸和相同电极数量情况下,单相激励传感器的精度和动态性能指标优于多相激励传感器,单相激励传感器精度为±20″,稳定性为10″,400rpm转速下速度波动为±1.25%,跟随误差为±2.5″,满足直驱电机的使用要求。

来源：2024年第1期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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