仪器仪表学报

作者：李润泽，王涛，牛群峰，王莉，林树翔

单位：李润泽,河南工业大学电气工程学院郑州450000,1410933624@qq.com,王涛,三门峡中原量仪股份有限公司三门峡472000,,牛群峰,河南工业大学电气工程学院郑州450000,niuqunfeng@163.com,王莉,河南工业大学电气工程学院郑州450000,,林树翔,河南工业大学电气工程学院郑州450000,

关键词：反射式光栅;实时误差修正;莫尔信号;CORDIC算法

基金：河南省科技攻关项目（242102220094）资助

针对现有反射式光栅和读数头在小体积时无法设置更多的栅线对数进一步提升稳定性,导致精度无法得到提升等问题,提出了一种提高反射式光栅位移测量精度的方法。该方法通过对影响光栅莫尔信号的直流、幅值、正交性偏差3个主要因素进行误差分析来实时误差修正光栅莫尔信号质量,并且采用反正切细分法对修正后的光栅莫尔信号进行插值细分得出测量结果,同时改进了正交性误差修正和反正切细分中用到的CORDIC算法。实验结果表明,细分误差由修正前的45″减小到了经过修正后的6″,验证了系统的可重复性,正、反向位移的一致性和滞回性,在相同的栅线对数情况下,测量精度达到了±1μm,显著优于商用光栅位移传感器。

来源：2024年第11期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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