仪器仪表学报

作者：陈晓东，谭惠丰，魏永合，田凤杰，陈雪岩

单位：陈晓东,沈阳理工大学机械工程学院沈阳110000,,谭惠丰,哈尔滨工业大学航天学院哈尔滨150080,tanhf@hit.edu.cn,魏永合,沈阳理工大学机械工程学院沈阳110000,,田凤杰,沈阳理工大学机械工程学院沈阳110000,,陈雪岩,哈尔滨工业大学航天学院哈尔滨150080,

关键词：微操作;半桥式机构;平行四边形机构;寄生位移;夹持精度;柔顺机构

基金：国家自然科学基金 (12202118）项目资助

微夹钳作为微操作系统的末端执行器，决定着微操作任务能否成功。平行四边形机构因其平行夹持特性通常作为微夹钳的末级放大机构，然而平行四边形机构旋转运动过程中会产生寄生位移。故基于对称复合半桥式机构提出一种二级放大非对称微夹钳，驱动方式采用压电驱动。压电致动器置于机构内部，作用于左右两侧复合半桥式机构的输入端，进而带动平行四边形机构完成夹持动作。机构工作时，左右两侧复合半桥式机构的输出端输出力作用于平行四边形机构的输入端，平行四边形机构左右两侧受力相同。基于柔性梁理论和坐标转换法得出机构的力学模型，分别通过有限元分析和实验验证得出微夹钳性能。针对平行夹持特性，传统微夹钳平行四边形机构输出端的旋转的角度为2.1×10-4°，所提微夹钳平行四边形机构输出端的旋转的角度为1.15×10-4°，输出端期望运动方向的寄生位移降低了45.28%，输出端的平行夹持性能有了显著提升；针对位移放大特性，传统微夹钳的放大倍率为12.6，所提微夹钳的放大倍率为14.3，输出端位移放大性能提升了13.5%。针对输出端寄生位移问题，传统微夹钳输出端的寄生位移为30.7nm，基于对称复合半桥式机构设计的微夹钳输出端寄生位移为10.8nm，寄生位移降低了64.8%。可以得出，相较于传统微夹钳，所提微夹钳性能优越。

来源：2025年第11期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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