仪器仪表学报

作者：马忠睿，赵欣，龚旭辉，何江波，周吴

单位：马忠睿,电子科技大学机械与电气工程学院成都611731,,赵欣,电子科技大学机械与电气工程学院成都611731,,龚旭辉,电子科技大学机械与电气工程学院成都611731,,何江波,西华大学机械工程学院成都610039,hejiangbo@foxmail.com,周吴,电子科技大学机械与电气工程学院成都611731,

关键词：MEMS;超声微电机;闭环步进控制;电容式角度传感器;PID控制器

基金：四川省科技成果转移转化示范项目(2024ZHCG0050)资助

超声微电机(USM)在需要到点即停和可控微小位移的使用场景中，通常通过步进方式实现高精度定位。然而在实际步进过程中，定子表面变形会使得电容式角度传感器出现检测误差，从而限制其定位精度。针对这一问题，聚焦所研究的具有专用结构特征的USM，提出了一种考虑定子初始变形误差的步进控制方法。首先，基于传感器结构和平板电容原理，分析启停阶段角度检测误差的形成机理，明确了启停阶段行波的激发与衰减引起定转子间距变化是误差的主要来源，据此提出预激励补偿与制动参数标定相结合的误差补偿方案。其次，针对该类USM建立了电压频率、幅值与相位与转速之间的输入-输出映射关系，并选取电压幅值作为调控参数。在闭环步进策略中，结合电容式角度传感器的实际输出特性，规划了一种无换向、平滑过渡的步进方式，选取电容波形的波峰/波谷作为角度检测基准点，引入带跟踪微分器的非线性比例积分微分(PID)控制器实现单向正转轨迹规划，并通过自适应电压幅值调控实现角度位置的精准跟踪。最后，搭建包含高精度光电准直仪的实验平台。实验结果表明，预激励补偿可使电容波动幅度降低约82%；在30次12°步进实验中，控制误差均<0.2°，相比开环控制精度提升约33%，且未出现误差累积。

来源：2025年第12期

《仪器仪表学报》期刊编辑部

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